Introduzione

I MEMS acronimo di Sistemi Micro Elettro Meccanici è l'integrazione di elementi meccanici, sensori, attuatori e componenti elettronici in un substrato comune di silicio mediante la tecnologia di micro fabbricazione. Mentre i componenti elettronici sono fabbricati con processi sequenziali (processi bipolari e o di BICMOS per esempio, di CMOS,), i componenti micro meccanici sono fabbricati usando i processi "micro macchine" compatibili che incidono selettivamente le parti del wafer del silicio o aggiungono i nuovi strati strutturali per formare i dispositivi meccanici ed elettromeccanici. I MEMS promettono di rivoluzionare prossimamente ogni categoria di prodotto fondendo assieme la microelettronica basata sul silicio con la tecnologia delle micro - macchine rendendo possibile la realizzazione di sistemi completi in un solo chip. La tecnologia MEMS permette di sviluppare dei prodotti intelligenti aumentando la capacita computazionale della microelettronica con la capacita' di percezione e di controllo dei micro-sensori e micro-attuatori e allargando lo spazio di possibili progetti ed applicazioni In figura 1 e' riportato struttura di un micro motore elettrico visto al microscopio