I SENSORI MEMS

Introduzione

I MEMS acronimo di Sistemi Micro Elettro Meccanici è l'integrazione di elementi meccanici, sensori, attuatori e componenti elettronici in un substrato comune di silicio mediante la tecnologia di micro fabbricazione. Mentre i componenti elettronici sono fabbricati con processi sequenziali (processi bipolari e o di BICMOS per esempio, di CMOS,), i componenti micro meccanici sono fabbricati usando i processi "micro macchine" compatibili che incidono selettivamente le parti del wafer del silicio o aggiungono i nuovi strati strutturali per formare i dispositivi meccanici ed elettromeccanici. I MEMS promettono di rivoluzionare prossimamente ogni categoria di prodotto fondendo assieme la microelettronica basata sul silicio con la tecnologia delle micro - macchine rendendo possibile la realizzazione di sistemi completi in un solo chip. La tecnologia MEMS permette di sviluppare dei prodotti intelligenti aumentando la capacita computazionale della microelettronica con la capacita' di percezione e di controllo dei micro-sensori e micro-attuatori e allargando lo spazio di possibili progetti ed applicazioni In figura 1 e' riportato struttura di un micro motore elettrico visto al microscopio

Figura 1:micro motore realizzato in un MEMS

I circuiti integrati microelettronici possono essere pensati come il cervello di un sistema e i MEMS aumentano la capacita 'di prendere decisioni con "occhi" e " strumenti" per permettere al micro-sistema di percepire e controllare l'insieme circostante. I sensori raccolgono le informazioni dell'ambiente circostante attraverso misurazioni di fenomeni meccanici,termici, biologici,chimici, ottici e meccanici. I circuiti elettronici poi processano l'informazione derivanti dai sensori e attraverso una certa capacita di prendere decisioni dirigere gli attuatori per rispondere movendosi , posizionandosi , regolando . Pompando e filtrando , quindi controllando l'ambiente esterno per un desiderato risultato o scopo voluto. Poiché i dispositivi MEMS sono realizzati usando le stesse tecniche di fabbricazione simili a quelle usate per i circuiti integrati possono essere disposti su una piccola placchetta di silicio ad un basso costo.

 

 

 

 

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