Per prima cosa, i MEMS e la nanotecnologia sono tecnologie estremamente diverse che potrebbero significativamente intaccare ogni categoria di prodotti commerciali e militari. I MEMS sono utilizzati spesso per attività che vanno dal monitoraggio della pressione sanguigna ai sistemi delle sospensioni attive per le automobili. La loro natura e la diversità delle loro applicazioni li rende potenzialmente dominanti rispetto anche i microchip elettronici. In secondo luogo i MEMS offuscano la distinzione tra sistemi meccanici complessi e i circuiti elettronici integrati. Storicamente i sensori e gli attuatori sono la parte più costosa e poco affidabile di un macro sistema elettronico con sensori e attuatori. I MEMS permettono che questi sistemi elettro-meccanici complessi possano essere prodotti usando le tecniche a lotti, riducendo i costi e incrementando la affidabilità dei sensorie degli attuatori uguale a quella dei circuiti integrati. Tuttavia, sebbene si pensa che le prestazioni dei MEMS siano superiori ai componenti e sistemi in macro scale , il loro prezzo e' predetto essere molto basso